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RFスパッタリング法によるGaAs(111)基板上へのGaN薄膜成長

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
その他
単著・共著:
共著
発表年月:
2015年12月
DOI:
会議属性:
国内会議
査読:
無し
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
下川顕太郎,斉藤 勝彦, 田中 徹, 西尾 光弘, 郭 其新
題名:
RFスパッタリング法によるGaAs(111)基板上へのGaN薄膜成長
発表情報:
2015年(平成27年度)応用物理学会九州支部学術講演会,2015年12月5日-6日 琉球大学 5Ba-9
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

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