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RFスパッタリング法により作製されたInGaN薄膜の特性評価

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
その他
単著・共著:
共著
発表年月:
2011年09月
DOI:
会議属性:
国内会議
査読:
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
千田広崇, 齊藤勝彦, 田中 徹, 西尾光弘, 郭 其新
題名:
RFスパッタリング法により作製されたInGaN薄膜の特性評価
発表情報:
平成23年度第64回電気関係学会九州支部連合大会, 佐賀大学, 平成23年9月26日, 13-1A-09.
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

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