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Impact of radio frequency powers on GaInN film growth by magnetron reactive sputtering

発表形態:
原著論文
主要業績:
その他
単著・共著:
共著
発表年月:
2012年
DOI:
会議属性:
指定なし
査読:
有り
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
Q. Guo, W. Shi, F. Liu, T. Nakao, K. Saito, T. Tanaka, and M. Nishio
題名:
Impact of radio frequency powers on GaInN film growth by magnetron reactive sputtering
発表情報:
Japanese Journal of Applied Physics 巻: 51 号: 11 ページ: 118004
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Q. Guo, W. Shi, F. Liu, T. Nakao, K. Saito, T. Tanaka, and M. Nishio
Title:
Impact of radio frequency powers on GaInN film growth by magnetron reactive sputtering
Announcement information:
Japanese Journal of Applied Physics Vol: 51 Issue: 11 Page: 118004


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