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Aging and thermal stability of Mg/SiC and Mg/Y2O3 reflection multilayers in the 25-35 nm region

発表形態:
原著論文
主要業績:
その他
単著・共著:
共著
発表年月:
2005年
DOI:
会議属性:
指定なし
査読:
有り
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
T. Ejima, A. Yamazaki, T. Banse, K. Saito, Y. Kondo, S. Ichimaru, and H. Takenaka 読み: Aging and thermal stability of Mg/SiC and Mg/Y2O3 reflection multilayers in the 25-35 nm region
題名:
Aging and thermal stability of Mg/SiC and Mg/Y2O3 reflection multilayers in the 25-35 nm region
発表情報:
Applied Optics 巻: 44 号: 26 ページ: 5446-5453
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
T. Ejima, A. Yamazaki, T. Banse, K. Saito, Y. Kondo, S. Ichimaru, and H. Takenaka
Title:
Aging and thermal stability of Mg/SiC and Mg/Y2O3 reflection multilayers in the 25-35 nm region
Announcement information:
Applied Optics Vol: 44 Issue: 26 Page: 5446-5453


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