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RFスパッタリング法によるInGaN の薄膜成長と評価
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2022年09月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
有働隆一, 斉藤勝彦, 田中 徹, 郭 其新
題名：
RFスパッタリング法によるInGaN の薄膜成長と評価
発表情報：
2022年度電気・情報関係学会九州支部連合大会、08-1P-01、2022年９月16日、Online.
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抄録：
英語フィールド
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