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Heteroepitaxial Growth of (AlGa)2 O3 Thin Films on Sapphire Substrates by Plasma-Assisted Pulsed Laser Deposition

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2022年05月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Zewei Chen, Makoto Arita, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, Qixin Guo*
題名：
Heteroepitaxial Growth of (AlGa)2 O3 Thin Films on Sapphire Substrates by Plasma-Assisted Pulsed Laser Deposition
発表情報：
5th International Workshop on UV Materials and Devices(IWUMD 2022), Maison Glad Jeju, Jeju, Korea, May 23-26, 2022, WeA1-3, Online.
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Zewei Chen, Makoto Arita, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, Qixin Guo*
Title：
Heteroepitaxial Growth of (AlGa)2 O3 Thin Films on Sapphire Substrates by Plasma-Assisted Pulsed Laser Deposition
Announcement information:
5th International Workshop on UV Materials and Devices(IWUMD 2022), Maison Glad Jeju, Jeju, Korea, May 23-26, 2022, WeA1-3, Online.

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