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Low temperature growth of In2O3 films via pulsed laser deposition with oxygen plasma

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2021年05月
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Pan, Chengyu; Saito, Katsuhiko; Tanaka, Tooru; Guo, Qixin*
題名：
Low temperature growth of In2O3 films via pulsed laser deposition with oxygen plasma
発表情報：
Japanese Journal of Applied Physics, 60, 055505, 2021.
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Pan, Chengyu; Saito, Katsuhiko; Tanaka, Tooru; Guo, Qixin*
Title：
Low temperature growth of In2O3 films via pulsed laser deposition with oxygen plasma
Announcement information:
Japanese Journal of Applied Physics, 60, 055505, 2021.

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