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Epitaxial growth of (AlxGa1-x)2O3 thin films on sapphire substrates by plasma assisted pulsed laser deposition

発表形態:
原著論文
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2021年03月
DOI:
会議属性:
指定なし
査読:
有り
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
Zewei Chen, Makoto Arita, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, Qixin Guo*
題名:
Epitaxial growth of (AlxGa1-x)2O3 thin films on sapphire substrates by plasma assisted pulsed laser deposition
発表情報:
AIP Advances 11, 035319, 2021
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Zewei Chen, Makoto Arita, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, Qixin Guo*
Title:
Epitaxial growth of (AlxGa1-x)2O3 thin films on sapphire substrates by plasma assisted pulsed laser deposition
Announcement information:
AIP Advances 11, 035319, 2021


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