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スパッタリング法によるMgO(100)基板上へのInN薄膜成長

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2014年12月
DOI:
会議属性:
国内会議
査読:
無し
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
藤坂遼, 牛島孝哉, 斉藤勝彦, 田中徹, 西尾光弘, 郭其新
題名:
スパッタリング法によるMgO(100)基板上へのInN薄膜成長
発表情報:
平成26年度応用物理学会九州支部学術講演会, 大分大学, 平成26年12月6日, 6Ea-10
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

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