MF研究者総覧

教員活動データベース

詳細

Growth of GaInN films on silicon substrates by reactive sputtering

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2013年07月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Q. Guo*, T. Nakao, T. Ushijima, K. Saito, T. Tanaka, M. Nishio
題名：
Growth of GaInN films on silicon substrates by reactive sputtering
発表情報：
The 12th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes, Kyoto Research Park, July 10-12, 2013, TF P1-1.
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Q. Guo*, T. Nakao, T. Ushijima, K. Saito, T. Tanaka, M. Nishio
Title：
Growth of GaInN films on silicon substrates by reactive sputtering
Announcement information:
The 12th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes, Kyoto Research Park, July 10-12, 2013, TF P1-1.

Copyright © MEDIA FUSION Co.,Ltd. All rights reserved.