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Effects of nitrogen/argon ratio on composition and structure of InN films prepared by r.f. magnetron sputtering

発表形態:
原著論文
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
1999年
DOI:
会議属性:
査読:
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
Guo, Q. X / Shingai, N / Mitsuishi, Y / Nishio, M / Ogawa, H
題名:
Effects of nitrogen/argon ratio on composition and structure of InN films prepared by r.f. magnetron sputtering
発表情報:
THIN SOLID FILMS 巻: 343/344 号: 2 ページ: 524-527
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Guo, Q. X / Shingai, N / Mitsuishi, Y / Nishio, M / Ogawa, H
Title:
Effects of nitrogen/argon ratio on composition and structure of InN films prepared by r.f. magnetron sputtering
Announcement information:
THIN SOLID FILMS Vol: 343/344 Issue: 2 Page: 524-527


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