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Effects of nitrogen/argon ratio on composition and structure of InN films prepared by r.f. magnetron sputtering

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
1999年
DOI：
会議属性：
査読：
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Guo, Q. X / Shingai, N / Mitsuishi, Y / Nishio, M / Ogawa, H
題名：
Effects of nitrogen/argon ratio on composition and structure of InN films prepared by r.f. magnetron sputtering
発表情報：
THIN SOLID FILMS 巻: 343/344 号: 2 ページ: 524-527
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Guo, Q. X / Shingai, N / Mitsuishi, Y / Nishio, M / Ogawa, H
Title：
Effects of nitrogen/argon ratio on composition and structure of InN films prepared by r.f. magnetron sputtering
Announcement information:
THIN SOLID FILMS Vol: 343/344 Issue: 2 Page: 524-527

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