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Deposition of InN thin films by radio frequency magnetron sputtering

発表形態:
原著論文
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
1998年
DOI:
会議属性:
査読:
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
Guo, Q. X / Shingai, N / Nishio, M / Ogawa, H
題名:
Deposition of InN thin films by radio frequency magnetron sputtering
発表情報:
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH 巻: 189/190 号: 1/4 ページ: 466-470
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Guo, Q. X / Shingai, N / Nishio, M / Ogawa, H
Title:
Deposition of InN thin films by radio frequency magnetron sputtering
Announcement information:
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH Vol: 189/190 Issue: 1/4 Page: 466-470


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