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Growth properties of AlN films on sapphire substrates by reactive sputtering

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2006年
DOI：
会議属性：
査読：
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Guo, Q. X / Tanaka, T / Nishio, M / Ogawa, H
題名：
Growth properties of AlN films on sapphire substrates by reactive sputtering
発表情報：
VACUUM 巻: 80 号: 7 ページ: 716-718
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Guo, Q. X / Tanaka, T / Nishio, M / Ogawa, H
Title：
Growth properties of AlN films on sapphire substrates by reactive sputtering
Announcement information:
VACUUM Vol: 80 Issue: 7 Page: 716-718

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