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Reactive sputter deposition of AlInN thin films

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2007年03月
DOI：
会議属性：
査読：
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Q.X. Guo, Y. Okazaki, Y. Kume, T. Tanaka, M. Nishio, and H. Ogawa
題名：
Reactive sputter deposition of AlInN thin films
発表情報：
Journal of Crystal Growth, 300, 151-154 (2007).
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Q.X. Guo, Y. Okazaki, Y. Kume, T. Tanaka, M. Nishio, and H. Ogawa
Title：
Reactive sputter deposition of AlInN thin films
Announcement information:
Journal of Crystal Growth, 300, 151-154 (2007).

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