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(011)面方位 HVPEβ型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードの高感度エミッション顕微鏡とシンクロトロンＸ線トポグラフィによるキラー欠陥の同定

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2023年03月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
大坪 優斗、スダーン セイリープ、佐々木 公平、倉又 朗人、嘉数 誠 読み: 大坪 優斗、スダーン セイリープ、佐々木 公平、倉又 朗人、嘉数 誠
題名：
(011)面方位 HVPEβ型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードの高感度エミッション顕微鏡とシンクロトロンＸ線トポグラフィによるキラー欠陥の同定
発表情報：
15p-E102-16、2023年第70回応用物理学会春季学術講演会、東京、2023年3月15日
キーワード：
概要：
(011)面方位 HVPEβ型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードの高感度エミッション顕微鏡とシンクロトロンＸ線トポグラフィによるキラー欠陥の同定
抄録：
(011)面方位 HVPEβ型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードの高感度エミッション顕微鏡とシンクロトロンＸ線トポグラフィによるキラー欠陥の同定

英語フィールド

Author：
大坪 優斗、スダーン セイリープ、佐々木 公平、倉又 朗人、嘉数 誠
Title：
(011)面方位 HVPEβ型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードの高感度エミッション顕微鏡とシンクロトロンＸ線トポグラフィによるキラー欠陥の同定
Announcement information:
15p-E102-16、2023年第70回応用物理学会春季学術講演会、東京、2023年3月15日
An abstract：
(011)面方位 HVPEβ型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードの高感度エミッション顕微鏡とシンクロトロンＸ線トポグラフィによるキラー欠陥の同定
An abstract：
(011)面方位 HVPEβ型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードの高感度エミッション顕微鏡とシンクロトロンＸ線トポグラフィによるキラー欠陥の同定

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