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究極の半導体 ダイヤモンドの大口径ウェハとパワーデバイスの最近の進展

発表形態：
招待講演・特別講演（学会シンポジウム等での講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
単著
発表年月：
2022年03月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
嘉数　誠
題名：
究極の半導体 ダイヤモンドの大口径ウェハとパワーデバイスの最近の進展
発表情報：
令和3年度ナノ・マイクロ技術支援講座（ナノ茶論）
キーワード：
概要：
究極の半導体 ダイヤモンドの大口径ウェハとパワーデバイスの最近の進展
抄録：
究極の半導体 ダイヤモンドの大口径ウェハとパワーデバイスの最近の進展

英語フィールド

Author：
嘉数　誠
Title：
究極の半導体 ダイヤモンドの大口径ウェハとパワーデバイスの最近の進展
Announcement information:
令和3年度ナノ・マイクロ技術支援講座（ナノ茶論）
An abstract：
究極の半導体 ダイヤモンドの大口径ウェハとパワーデバイスの最近の進展
An abstract：
究極の半導体 ダイヤモンドの大口径ウェハとパワーデバイスの最近の進展

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