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ダイヤモンド半導体の最近の進展大口径ヘテロエピタキシャル成長とパワー半導体デバイスの開発

発表形態：
招待講演・特別講演（学会シンポジウム等での講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2021年11月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
嘉数　誠、金　聖祐
題名：
ダイヤモンド半導体の最近の進展大口径ヘテロエピタキシャル成長とパワー半導体デバイスの開発
発表情報：
「2021 Nano Scientific Symposium Japan」 「ナノ科学シンポジウム 2021」
キーワード：
概要：
ダイヤモンド半導体の最近の進展大口径ヘテロエピタキシャル成長とパワー半導体デバイスの開発
抄録：
ダイヤモンド半導体の最近の進展大口径ヘテロエピタキシャル成長とパワー半導体デバイスの開発

英語フィールド

Author：
嘉数　誠、金　聖祐
Title：
ダイヤモンド半導体の最近の進展大口径ヘテロエピタキシャル成長とパワー半導体デバイスの開発
Announcement information:
「2021 Nano Scientific Symposium Japan」 「ナノ科学シンポジウム 2021」
An abstract：
ダイヤモンド半導体の最近の進展大口径ヘテロエピタキシャル成長とパワー半導体デバイスの開発
An abstract：
ダイヤモンド半導体の最近の進展大口径ヘテロエピタキシャル成長とパワー半導体デバイスの開発

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