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HVPE成長β型酸化ガリウムエピ層中の積層欠陥の観察

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2020年09月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
嘉数 誠, スダーン セイリープ, 佐々木公平, 桝谷聡士, 川崎克己, 平林 潤, 倉又 朗人 読み: 嘉数 誠, スダーン セイリープ, 佐々木公平, 桝谷聡士, 川崎克己, 平林 潤, 倉又 朗人
題名：
HVPE成長β型酸化ガリウムエピ層中の積層欠陥の観察
発表情報：
2020年秋季応用物理学会、29p-Z20-6、京都、2020年9月8-11日
キーワード：
酸化ガリウムエピ層
概要：
HVPE成長β型酸化ガリウムエピ層中の積層欠陥の観察
抄録：
HVPE成長β型酸化ガリウムエピ層中の積層欠陥の観察

英語フィールド

Author：
嘉数 誠, スダーン セイリープ, 佐々木公平, 桝谷聡士, 川崎克己, 平林 潤, 倉又 朗人
Title：
HVPE成長β型酸化ガリウムエピ層中の積層欠陥の観察
Announcement information:
2020年秋季応用物理学会、29p-Z20-6、京都、2020年9月8-11日
Keyword：
酸化ガリウムエピ層
An abstract：
HVPE成長β型酸化ガリウムエピ層中の積層欠陥の観察
An abstract：
HVPE成長β型酸化ガリウムエピ層中の積層欠陥の観察

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