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The combination of Diamond devices with Si LSI by surface activated bonding

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2018年03月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Jianbo Liang, Satoshi Masuya, Makoto Kasu, and Naoteru Shigekawa
題名：
The combination of Diamond devices with Si LSI by surface activated bonding
発表情報：
Int. Conf. Diamond and Carbon Materials (ICDCM) 2018
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Jianbo Liang, Satoshi Masuya, Makoto Kasu, and Naoteru Shigekawa
Title：
The combination of Diamond devices with Si LSI by surface activated bonding
Announcement information:
Int. Conf. Diamond and Carbon Materials (ICDCM) 2018

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