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Diamond field-effect transistors fabricated on high-quality heteroepitaxial diamond wafers treated by chemical mechanical polishing technology

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2018年09月
DOI:
会議属性:
国際会議(国内開催を含む)
査読:
有り
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
M. Kasu, D. Fujii, S. Masuya, T. Oishi, S. –W. Kim
題名:
Diamond field-effect transistors fabricated on high-quality heteroepitaxial diamond wafers treated by chemical mechanical polishing technology
発表情報:
Int. Conf. Diamond and Carbon Materials (ICDCM)
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
M. Kasu, D. Fujii, S. Masuya, T. Oishi, S. –W. Kim
Title:
Diamond field-effect transistors fabricated on high-quality heteroepitaxial diamond wafers treated by chemical mechanical polishing technology
Announcement information:
Int. Conf. Diamond and Carbon Materials (ICDCM)


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