MF研究者総覧

教員活動データベース

ダイヤモンド基板のCMP処理によるエピタキシャル膜の高品質化

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2018年03月
DOI:
会議属性:
国内会議
査読:
無し
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
藤居大毅、枡谷聡士、大山幸希、武田秀俊、木村 豊、金 聖祐、嘉数 誠
題名:
ダイヤモンド基板のCMP処理によるエピタキシャル膜の高品質化
発表情報:
応用物理学会春季学術講演会
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Title:
Announcement information:


Copyright © MEDIA FUSION Co.,Ltd. All rights reserved.