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Carrier Gas Dependent Evaporation Energy of GaN Estimated from Spiral Growth Rates in Selective-Area Metalorganic Vapor Phase Epitaxy

著者：

T. Akasaka, Y. Kobayashi, M. Kasu, H. Yamamoto,

題名：

発表情報：

Appl. Phys. Express 巻: 6 ページ: 105501

キーワード：

GaN, Growth

概要：

抄録：

Author：

T. Akasaka, Y. Kobayashi, M. Kasu, H. Yamamoto,

Title：

Carrier Gas Dependent Evaporation Energy of GaN Estimated from Spiral Growth Rates in Selective-Area Metalorganic Vapor Phase Epitaxy

Announcement information:

Appl. Phys. Express Vol: 6 Page: 105501

Keyword：

GaN, Growth