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マイクロ波プラズマCVD成長ダイヤモンドを用いたパワー高周波FET
発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
単著
発表年月:
2013年10月
DOI:
会議属性:
国内会議
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日本語フィールド
著者:
嘉数誠
題名:
マイクロ波プラズマCVD成長ダイヤモンドを用いたパワー高周波FET
発表情報:
電気学会プラズマ研究会
キーワード:
ダイヤモンド
概要:
マイクロ波プラズマCVD成長ダイヤモンドを用いたパワー高周波FETを解説した
抄録:
マイクロ波プラズマCVD成長ダイヤモンドを用いたパワー高周波FETを解説した
英語フィールド
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