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Anisotropic in-plane strains in nonpolar AlN and AlGaN (11-20) films grown on SiC (11-20) substrates

著者：

T. Akasaka, Y. Kobayashi, and M. Kasu

題名：

発表情報：

Applied Physics Letters 巻: 93 ページ: 161908

キーワード：

概要：

抄録：

Author：

T. Akasaka, Y. Kobayashi, and M. Kasu

Title：

Anisotropic in-plane strains in nonpolar AlN and AlGaN (11-20) films grown on SiC (11-20) substrates

Announcement information:

Applied Physics Letters Vol: 93 Page: 161908