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Reduction of threading dislocations in crack-free AlGaN by using multiple thin SixAl1-xN interlayers

発表形態:
原著論文
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2003年
DOI:
会議属性:
指定なし
査読:
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
T. Akasaka, T. Nishida, Y. Taniyasu, M. Kasu, and T. Makimoto
題名:
Reduction of threading dislocations in crack-free AlGaN by using multiple thin SixAl1-xN interlayers
発表情報:
Appl. Phys. Lett. 巻: 83 ページ: 4140-4142
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
T. Akasaka, T. Nishida, Y. Taniyasu, M. Kasu, and T. Makimoto
Title:
Reduction of threading dislocations in crack-free AlGaN by using multiple thin SixAl1-xN interlayers
Announcement information:
Appl. Phys. Lett. Vol: 83 Page: 4140-4142


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