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Reduction of threading dislocations in crack-free AlGaN by using multiple thin SixAl1-xN interlayers

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2003年
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
T. Akasaka, T. Nishida, Y. Taniyasu, M. Kasu, and T. Makimoto
題名：
Reduction of threading dislocations in crack-free AlGaN by using multiple thin SixAl1-xN interlayers
発表情報：
Appl. Phys. Lett. 巻: 83 ページ: 4140-4142
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
T. Akasaka, T. Nishida, Y. Taniyasu, M. Kasu, and T. Makimoto
Title：
Reduction of threading dislocations in crack-free AlGaN by using multiple thin SixAl1-xN interlayers
Announcement information:
Appl. Phys. Lett. Vol: 83 Page: 4140-4142

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