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Passivating antireflection coating of crystalline silicon using i/n a-Si:H/ SiN trilayer

著者：

Shota Nunomura, Isao Sakata, Aiko Sato, Micka¨el Lozac’h, Tatsuya Misawa, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani

題名：

発表情報：

Journal of Physics and Chemistry of Solids 巻: 156 ページ: 110127

キーワード：

概要：

抄録：

Author：

Shota Nunomura, Isao Sakata, Aiko Sato, Micka¨el Lozac’h, Tatsuya Misawa, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani

Title：

Passivating antireflection coating of crystalline silicon using i/n a-Si:H/ SiN trilayer

Announcement information:

Journal of Physics and Chemistry of Solids Vol: 156 Page: 110127