教員活動データベース

Influence of ion-bombardment-energy on thin zirconium oxide films prepared by dual frequency oxygen plasma sputtering

著者：

Y. Ohtsu, Y. Hino, T. Misawa, H. Fujita, K. Yukimura and M. Akiyama

題名：

発表情報：

Surf. Coat. Technol. 巻: 201 ページ: 6627-6630

キーワード：

概要：

抄録：

Author：

Y. Ohtsu, Y. Hino, T. Misawa, H. Fujita, K. Yukimura and M. Akiyama

Title：

Influence of ion-bombardment-energy on thin zirconium oxide films prepared by dual frequency oxygen plasma sputtering

Announcement information:

Surf. Coat. Technol. Vol: 201 Page: 6627-6630