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プラズマ生成装置
発表形態：
知的財産権の出願等（著作権は除く）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
単著
発表年月：
2011年11月
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
三沢達也，林信哉（出願人：国立大学法人佐賀大学）
題名：
プラズマ生成装置
発表情報：
出願番号：特願2011-247680，PCT/JP2012/079297，特許第6083093号
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抄録：
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