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リング状ホロー溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマ生成
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2010年03月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
大津康徳，浦崎浩史，三沢達也，藤田寛治 読み: おおつやすのり，うらさきこうじ，みさわたつや，ふじたひろはる
題名：
リング状ホロー溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマ生成
発表情報：
第57 回応用物理学関係連合講演会
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
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