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Characteristics of RF Capacitively Coupled Plasma with High-Secondary-Electron-Emission Electrode Materials for Mercury-Free Lamp

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2010年02月
DOI:
会議属性:
国内会議
査読:
無し
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
K.Kabashima, T.Misawa, Y.Ohtsu
題名:
Characteristics of RF Capacitively Coupled Plasma with High-Secondary-Electron-Emission Electrode Materials for Mercury-Free Lamp
発表情報:
Proc. 27th Symp. Plasma Processing, Yokohama, P1-02. ページ: 131-132
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
K.Kabashima, T.Misawa, Y.Ohtsu
Title:
Characteristics of RF Capacitively Coupled Plasma with High-Secondary-Electron-Emission Electrode Materials for Mercury-Free Lamp
Announcement information:
Proc. 27th Symp. Plasma Processing, Yokohama, P1-02. Page: 131-132


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