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Characteristics of RF Capacitively Coupled Plasma with High-Secondary-Electron-Emission Electrode Materials for Mercury-Free Lamp

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2010年02月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
K.Kabashima, T.Misawa, Y.Ohtsu
題名：
Characteristics of RF Capacitively Coupled Plasma with High-Secondary-Electron-Emission Electrode Materials for Mercury-Free Lamp
発表情報：
Proc. 27th Symp. Plasma Processing, Yokohama, P1-02. ページ: 131-132
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
K.Kabashima, T.Misawa, Y.Ohtsu
Title：
Characteristics of RF Capacitively Coupled Plasma with High-Secondary-Electron-Emission Electrode Materials for Mercury-Free Lamp
Announcement information:
Proc. 27th Symp. Plasma Processing, Yokohama, P1-02. Page: 131-132

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