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Production of High-Density Plasma with Plasma-Ring Discharge

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2010年02月
DOI:
会議属性:
国内会議
査読:
無し
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
Y.Ohtsu, H.Urasaki, T.Misawa, H.Fujita
題名:
Production of High-Density Plasma with Plasma-Ring Discharge
発表情報:
Proc. 27th Symp. Plasma Processing, Yokohama, P1-01. ページ: 129-130
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Y.Ohtsu, H.Urasaki, T.Misawa, H.Fujita
Title:
Production of High-Density Plasma with Plasma-Ring Discharge
Announcement information:
Proc. 27th Symp. Plasma Processing, Yokohama, P1-01. Page: 129-130


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