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リング状ホロー溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマの生成

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2009年11月
DOI:
会議属性:
国内会議
査読:
無し
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
大津康徳,浦崎浩史,三沢達也,藤田寛治 読み: おおつやすのり,うらさきこうじ,みさわたつや,ふじたひろはる
題名:
リング状ホロー溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマの生成
発表情報:
電気学会プラズマ研究会資料、東京都市大学、PST-09-130. ページ: 19-22
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Title:
Announcement information:
Page: 19-22


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