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AlN薄膜合成のための二周波プラズマスパッタリング装置の構築

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2009年09月
DOI:
会議属性:
国内会議
査読:
無し
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
田中茂徳,大津康徳,三沢達也,秋山守人 読み: たなかしげやのり,おおつやすのり,みさわたつや,あきやまもりと
題名:
AlN薄膜合成のための二周波プラズマスパッタリング装置の構築
発表情報:
平成21年度電気関係学会九州支部第62回連合大会講演論文集、12-2A-03.
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

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