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AlN薄膜合成のための二周波プラズマスパッタリング装置の構築
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2009年09月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
田中茂徳，大津康徳，三沢達也，秋山守人 読み: たなかしげやのり，おおつやすのり，みさわたつや，あきやまもりと
題名：
AlN薄膜合成のための二周波プラズマスパッタリング装置の構築
発表情報：
平成21年度電気関係学会九州支部第62回連合大会講演論文集、12-2A-03．
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
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