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リング状ホロー電極を用いた容量結合型プラズマに及ぼす溝構造の影響
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2009年09月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
浦崎浩史，三沢達也，大津康徳，藤田寛治 読み: うらさきこうじ，みさわたつや，おおつやすのり，ふじたひろはる
題名：
リング状ホロー電極を用いた容量結合型プラズマに及ぼす溝構造の影響
発表情報：
平成２１年度電気関係学会九州支部第62回連合大会講演論文集、12-2A-02．
キーワード：
概要：
抄録：
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