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無水銀光源のための容量結合プラズマ特性に及ぼす誘電体電極材料の影響
発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2009年09月
DOI:
会議属性:
国内会議
査読:
無し
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日本語フィールド
著者:
椛島一稔,大津康徳,三沢達也 読み: かばしまかずとし,おおつやすのり,みさわたつや
題名:
無水銀光源のための容量結合プラズマ特性に及ぼす誘電体電極材料の影響
発表情報:
平成21年度電気関係学会九州支部第62回連合大会講演論文集、12-2A-01.
キーワード:
概要:
抄録:
英語フィールド
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