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リング状溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマの生成とその空間分布の均一化
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2009年08月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
大津康徳，浦崎浩史，堀田智宏，三沢達也，藤田寛治 読み: おおつやすのり，うらさきこうじ，ほったともひろ，みさわたつや，ふじたひろはる
題名：
リング状溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマの生成とその空間分布の均一化
発表情報：
電気学会放電・プラズマ・パルスパワー合同研究会，京都，PST-09-78 ページ: 25-28
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
Author：
Title：
Announcement information:
Page: 25-28
