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二周波プラズマスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜の高速合成～アルミニウム薄膜高速化～
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2008年07月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
樋野幸己、三沢達也、大津康徳、藤田寛治、秋山守人
題名：
二周波プラズマスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜の高速合成～アルミニウム薄膜高速化～
発表情報：
電気学会プラズマ研究会（2008年7月4日；広島工業大学）
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
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