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C2H2F2を用いた低電子温度プラズマによる撥水性薄膜合成とその密着性の検討
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2008年09月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
和田憲和、三沢達也、大津康徳、藤田寛治
題名：
C2H2F2を用いた低電子温度プラズマによる撥水性薄膜合成とその密着性の検討
発表情報：
電気関係学会九州支部第61回連合会 04-2P-14（2008年9月25日；大分大学）
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
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