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放電プラズマ焼結法を利用したアルミナ添加酸化亜鉛熱電薄膜の堆積

著者：

三沢達也、鹿谷昇、川上雄士、円城寺隆志、大津康徳読み: ミサワタツヤ、シカタニノボル、カワカミユウジ、エンジョウジタカシ、オオツヤスノリ

題名：

発表情報：

プラズマ科学シンポジウム2009／第26回プラズマプロセシング研究会（2009年2月2-4日；名古屋大学豊田講堂）ページ: 248-249

キーワード：

概要：

抄録：

Author：

Tatsuya Misawa, Noboru Shikatani, Yuji Kawakami, Takashi Enjoji, Yasunori　Ohtsu

Title：

Deposition of Al-doped ZnO thermoelectric thin film using Spark Plasma Sintering Method

Announcement information:

Plasma Science Symposium 2009 / The 26th Symposium on Plasma Processing (February 2-4, 2009; Toyota hall, Nagoya University) Page: 248-249