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Electrical characteristics of ultra-fine trench isolation fabricated by a new two-step filling process

発表形態：: 一般講演（学術講演を含む）
主要業績：: 主要業績
単著・共著：: 共著
発表年月：: 1996年08月

DOI：
会議属性：: 国際会議（国内開催を含む）
査読：: 有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：

K.Shiozawa, T.Oishi, H.Maeda, T.Murakami, K.Yasumura, Y.Abe and Y.Tokuda

題名：

Electrical characteristics of ultra-fine trench isolation fabricated by a new two-step filling process

発表情報：

Extended Abstracts of the 1996 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM1996), August 26-29, 1996, Yokohama, Japan, pp.419-421.

キーワード：

概要：

抄録：

英語フィールド

Author：

K.Shiozawa, T.Oishi, H.Maeda, T.Murakami, K.Yasumura, Y.Abe and Y.Tokuda

Title：

Electrical characteristics of ultra-fine trench isolation fabricated by a new two-step filling process

Announcement information:

Extended Abstracts of the 1996 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM1996), August 26-29, 1996, Yokohama, Japan, pp.419-421.