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AlGaN/GaN HEMTの素子分離としてのZn注入
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2002年
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
大石敏之、三浦成久、吹田宗義、南條拓真、阿部雄次、尾関龍夫、石川博康、江川孝志、神保孝志
題名：
AlGaN/GaN HEMTの素子分離としてのZn注入
発表情報：
電子情報通信学会研究会 ED2002-212, CPM2002-103、2002年, pp.17-22.
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