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Novel fabrication methods of gratings for DFB lasers using ECR-CVD SiNx films

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
1988年09月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
S.Sugimoto, Y.Abe, K.Ohtsuka, T.Ohishi, T.Matui, H.Ogata
題名：
Novel fabrication methods of gratings for DFB lasers using ECR-CVD SiNx films
発表情報：
Fourteenth European Conference on Optical Communication (ECOC 1988), September 11-15, 1988, Glasgow, Scotland, pp.376-379.
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
S.Sugimoto, Y.Abe, K.Ohtsuka, T.Ohishi, T.Matui, H.Ogata
Title：
Novel fabrication methods of gratings for DFB lasers using ECR-CVD SiNx films
Announcement information:
Fourteenth European Conference on Optical Communication (ECOC 1988), September 11-15, 1988, Glasgow, Scotland, pp.376-379.

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