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Dry etching of BiSrCaCuO superconducting thin films using argon and ethane

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
1992年11月
DOI:
会議属性:
国際会議(国内開催を含む)
査読:
有り
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
T.Oishi, T.Takami, K.Kojima, K.Kuroda, and O.Wada
題名:
Dry etching of BiSrCaCuO superconducting thin films using argon and ethane
発表情報:
Proceedings of the 5th International symposium on superconductivity (ISS '92), November 16-19, 1992, Kobe, Japan, pp.1029-1032.
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
T.Oishi, T.Takami, K.Kojima, K.Kuroda, and O.Wada
Title:
Dry etching of BiSrCaCuO superconducting thin films using argon and ethane
Announcement information:
Proceedings of the 5th International symposium on superconductivity (ISS '92), November 16-19, 1992, Kobe, Japan, pp.1029-1032.


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