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Ion implantation doping for AlGaN/GaN HEMTs

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2005年08月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
M.Suita, T.Nanjo, T.Oishi, Y.Abe, K.Marumoto
題名：
Ion implantation doping for AlGaN/GaN HEMTs
発表情報：
The 6th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS2005), Aug. 28- Sep. 2, 2005, Bremen Germany, Th-P-011.
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
M.Suita, T.Nanjo, T.Oishi, Y.Abe, K.Marumoto
Title：
Ion implantation doping for AlGaN/GaN HEMTs
Announcement information:
The 6th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS2005), Aug. 28- Sep. 2, 2005, Bremen Germany, Th-P-011.

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