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Effect of ethane addition to argon in etching of BiSrCaCuO superconducting thin films

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
1993年
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
T.Oishi, T.Takami, K.Kojima, K.Kuroda and O.Wada
題名：
Effect of ethane addition to argon in etching of BiSrCaCuO superconducting thin films
発表情報：
Jpn. J. Appl. Phys. 32 (1993) pp.L187-L189.
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
T.Oishi, T.Takami, K.Kojima, K.Kuroda and O.Wada
Title：
Effect of ethane addition to argon in etching of BiSrCaCuO superconducting thin films
Announcement information:
Jpn. J. Appl. Phys. 32 (1993) pp.L187-L189.

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