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Electrical characteristics of ultra-fine trench isolation fabricated by a new two-step filling process

著者：

K.Shiozawa, T.Oishi, H.Maeda, T.Murakami, K.Yasumura, Y.Abe and Y.Tokuda

題名：

発表情報：

Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) pp.L1625-L1627.

キーワード：

概要：

抄録：

Author：

K.Shiozawa, T.Oishi, H.Maeda, T.Murakami, K.Yasumura, Y.Abe and Y.Tokuda

Title：

Electrical characteristics of ultra-fine trench isolation fabricated by a new two-step filling process

Announcement information:

Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) pp.L1625-L1627.