MF研究者総覧

教員活動データベース

詳細

Excellent electrical characteristics of ultrafine trench isolation

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
1998年
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
K.Shiozawa, T.Oishi, H.Maeda, T.Murakami, K.Yasumura, Y.Abe and Y.Tokuda
題名：
Excellent electrical characteristics of ultrafine trench isolation
発表情報：
J. Electrochem. Soc. 145 (1998) pp.1684-1687.
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
K.Shiozawa, T.Oishi, H.Maeda, T.Murakami, K.Yasumura, Y.Abe and Y.Tokuda
Title：
Excellent electrical characteristics of ultrafine trench isolation
Announcement information:
J. Electrochem. Soc. 145 (1998) pp.1684-1687.

Copyright © MEDIA FUSION Co.,Ltd. All rights reserved.