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結晶軸に沿ったZnイオン注入によるGaNの高抵抗化
発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2004年
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
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日本語フィールド
著者：
大石敏之、三浦成久、吹田宗義、南條拓真、阿部雄次、尾関龍夫、石川博康、江川孝志
題名：
結晶軸に沿ったZnイオン注入によるGaNの高抵抗化
発表情報：
J.Vac.Soc.Jpn. (真空) 47 (2004) pp.328-333.
キーワード：
概要：
抄録：
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Announcement information:
J.Vac.Soc.Jpn. (真空) 47 (2004) pp.328-333.
