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“反応性スパッタによる磁器釉上へのTiN膜の析出”

発表形態:
資料・解説・論説・研究報告・総合雑誌の論文
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
1991年
DOI:
会議属性:
指定なし
査読:
無し
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
一ノ瀬弘道、赤松一男、永野正光、勝木宏昭、寺崎信
題名:
“反応性スパッタによる磁器釉上へのTiN膜の析出”
発表情報:
佐賀大学科学技術共同開発センター、Joint Research Report, Sept. (1991) pp.12-15.
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

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