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”Effects of organometallic compounds introduced to plasma on diamond film growth by microwave plasma CVD”

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
1993年
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
M. Nagano, H. Ichinose, Y. Nibu and H. Katsuki
題名：
”Effects of organometallic compounds introduced to plasma on diamond film growth by microwave plasma CVD”
発表情報：
Proc. 183rd Meeting of The Electrochem. Soc., Honolulu, 93-1 (1993) 627-28.
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

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